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羅茨真空泵
羅茨真空泵是一種容積式真空泵,一對8字型轉子在泵腔內以相反的方向同步旋轉而完成吸氣排氣的服骚。在工作過(guò)程中旧伺,轉子與轉子,轉子與泵體之間始終保持一定的間隙,轉子與轉子間的間隙由一對同步齒輪調節酸些,轉子與端面間隙靠固定端的軸承調節仰税,另一軸承自由游動(dòng)禀锋。
羅茨真空泵最大的特點(diǎn)是在較低的入口壓力下具有較大的抽氣速率饲齐,但其排氣口與進(jìn)氣口的壓力差卻不能太大(大泵壓差約4000Pa,小泵壓差約5000Pa),所以不能單獨使用,需配置前級泵進(jìn)行預抽,當入口壓力達到一定數值時(shí)(-0.092MPa以上)方能啟動(dòng)。
羅茨真空泵抽氣腔內無(wú)任何輔助液體歹铭,對工藝氣體不產(chǎn)生污染能真。真空泵抽氣腔兩端的軸承及齒輪需要油潤滑藻雌,但油腔與抽氣腔間有軸封隔開(kāi)赚爵。
氣體在羅茨真空泵內雖然不產(chǎn)生內壓縮料饥,但在排氣時(shí)會(huì )發(fā)生外壓縮涮雷,壓縮熱會(huì )使轉子、泵體及真空油溫度升高,所以除個(gè)別小抽氣量羅茨泵無(wú)水冷外翁逞,均在油腔內加有水冷裝置